공학70 오일 증기의 역류에 대하여 5.1.3 오일 증기의 역류 고진공 펌프로서 보편적으로 많이 사용되어온 것이 오일 확산 펌프이지만, 확산 펌프의 가장 큰 문제점은 바로 오일의 역류(back-stream)이다. 역류는 오 일 증기가 진공 용기로 들어가는 현상으로 진공 용기 내벽에 오염을 발생시킬 뿐만 아니라, 공정으로 진행되는 모든 과정에 영향을 주기 때문에 반드시 방지하 여야 한다. 그러나 오일 확산 펌프의 동작은 히터의 가열에 의해 생성되는 기체상인 증기 분자들의 열운동으로 기체분자를 배기하는 것임으로 역류에 대한 가능성은 동작 원리에서부터 내재하고 있다. 따라서 이에 대한 최선책이란 역류의 확률을 최대한 줄이는 것뿐이다. 역류에는 여러 종류가 있지만, 가장 근본적인 원인으로는 노즐에서 분사된 증기 분자가 직접 역류하는 것이다. 즉,.. 2022. 9. 22. 고진공 펌프의 종류 고진공 펌프 일반적으로 초기 진공을 형성하기 위해서는 러핑 펌프가 사용되며, 러핑 펌프는 저진공 영역에서의 배기 역할을 완료하게 된다. 그리고 이어서 진공 용기의 압력을 희망하는 고진공까지 낮추기 위하여 고진공 펌프가 동작하면서 임무를 교대하고, 대체로 기계적인 펌프는 고진공 펌프의 배기부로 연결되어 보조 펌프로서 다시 역할을 계속하게 된다. 고진공 펌프는 러핑 펌프에 비해 흡입구의 면적이 크며, 이는 고진공 영역에서는 분자 유동에 의해 기체 분자들의 평균 자유 행정이 커지기 때문에 펌프의 입구로 많이 들어올 수 있도록 흡입구가 커지게 된다. 유체는 기체 분자들의 운동 에너지에 비례하여 외부의 압력에 대해 저항하게 된다. 기체분자의 운동 속도는 방향성을 가진 유동 성분과 방향성이 없는 열운동 성분으로 구.. 2022. 9. 22. 러핑 펌프의 종류에 대해서 (2) 4.3.3 Claw 펌프 Claw 펌프는 Roots 펌프와 동작 원리는 동일하지만, 회전자의 모양이 압축비를 향상하기 위해 집 계발과 같기 때문에 붙여진 이름이며, 그림 4-12에서 나타낸 바와 같이 흡입구와 배기구가 측면에 배치된다. 그림에서 나타내듯이, 두 개의 집게발은 모양이 거의 흡사하며 회전하면서 거의 접촉하게 되고, 또한 claw 회전자와 고정자의 내벽은 서로 밀착하여 배기가스의 공간을 형성한다. Roots 펌프의 두 회전자는 수직으로 교차하기 때문에 회전 위상이 정확히 맞아야 할지만, 이에 비해 caw 펌프는 구조적으로 이러한 제한에 어느 정도 여유를 갖기 때문에 소형 펌프로서 매우 유리한 편이다. Claw 펌프의 압축비는 컸지만 배기속도는 낮다. 그림 413은 claw 펌프의 동작 과정인 .. 2022. 9. 21. 러핑 펌프의 종류에 대해서 4.3 드라이 펌프 최근 국가산업 경쟁력의 핵심으로 떠오르고 있는 차세대 동력산업인 첨단의 평판 디스플레이 산업이나 반도체 산업에 있어 진공 장치의 오염은 제조공정에 서 반드시 제거하여야 하는 필수 요건이라 할 수 있다. 드라이 펌프(dry pump;일명 건식 펌프)는 펌프에 오일을 사용하지 않기 때문에 진공 시스템의 청결도를 유지할 수 있다는 장점으로 주목을 받고 있다. 이미 앞 절에서 기술하였듯이, 오일에 의한 역류는 진공 용기의 오염이나 고장에 가장 큰 원인을 제공하기도 한다. 따라서 진공의 청정을 해야 하는 공정에서 드라이 펌프를 사용하게 되면, 제조공정의 신뢰성 및 안전성이 증가하고, 운영의 경비를 절감할 수 있으며, 또한 폐기물 처리비용을 절감할 수 있다. 드라이 펌프의 종류로는 screw 펌.. 2022. 9. 20. 이전 1 ··· 12 13 14 15 16 17 18 다음
