공학70 크라이오 펌프 관련 5.3 크라이오 펌프 크라이오 펌프(cryo pump)는 원래 cryogenic pump의 줄인 말로써, cryo는 저온이라는 의미이다. 썸프의 원리는 이미 앞서 러핑 펌프에서 기술하였듯이, 저 진공 펌프에서 섭션 펌프나 확산 펌프에서 사용하는 냉온 트랩과 유사한 것으로 온도를 낮추어 표면에 흡착하도록 하는 방식이며, 일종의 포획 펌프이다. 즉, 기체분자를 차갑도록 온도를 낮추어 운동 에너지를 잃고 펌프 내에 얼려 붙잡아두는 독특한 방식의 펌프라 할 수 있다. 확산 펌프나 터보 펌프와 같은 오일을 사용하거나 기계적으로 동작하지 않기 때문에, 역류에 대한 문제가 전혀 없으며, 또한 펌프와 외부로 연결되는 컴프레서(compressor)의 동작으로 인한 소음을 제외하면 소음이나 진동에 대한 염려가 없다고 할 .. 2022. 9. 25. 터보 분자 펌프의 설계 5.2.3 터보 분자 펌프의 설계 이상에서 기술하였듯이, 터보 분자 펌프의 배기 성능은 여러 가지 요소에 의해 결정되는데, 회전자와 고정자 날개에 대한 설계에 있어 경사각도, 날의 면적날 사이에 간격 및 회전 속도 등에 의존하게 된다. 또한, 전체 성능은 펌프의 압축비, 배기 속도 및 날개의 구조 등을 최적화하여야 한다. 진공 펌프의 압축비(compression ratio)란 펌프가 동작할 경우에 흡입구의 압력에 대한 배기구의 압력 비율을 의미한다. $$압축비 = \frac{배기구 압력}{흡입구 압력}$$ 압축비는 배기 되는 기체분자의 분자량의 함수이며, 회전자의 회전 속도와 관계된다. 펌프의 압축비는 흡입구 쪽으로 들어오는 기체 분자들을 압축하여 배기구 밖으로 전달하는 정도를 나타내며, 결국 회전자 날.. 2022. 9. 24. 터보 분자 펌프와 역사 5.2 터보 분자 펌프 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump; TMP)는 매우 청결한 기계적인 펌프로써, 일명 터보 펌프(turbo pump)라고 부르기도 한다. 터보 펌프는 오일을 사용하지 않기 때문에 깨끗한 고진공 펌프라고 알려져 있으며, 확산 펌프와 동일 한 운동량 전달 방식의 펌프이다. 이러한 이유로 최근 진공 시스템이 있어야 하는 첨단 전자산업의 제조과정에서 많이 사용하는 펌프이다. 터보 펌프의 특징은 동일한 용량의 확산 펌프와 비교하여 매우 비싸며, 압력 범위는 트랩 없이 $10^{2}~5x10^{10}$ torr까지 사용이 가능한 순수한 기계식 진공 펌프이다. 물론, 회전자와 고정자 사이의 베어링에 약간의 윤활유를 사용하기는 하지만, 역류와 같은 문제는 발생하지 않는 것으로 .. 2022. 9. 23. 확산 펌프의 사용법 및 고장진단 5.1.5 확산 펌프의 사용법 및 고장진단 이미 기술하였듯이, 확산 펌프는 펌프 오일이 끊는 점까지 가열하여 증발관을 따라 이동한 후, 제트장치의 노즐을 통해 아래 방향으로 분사되며, 이때 증기 분자들은 초음속의 속도로 매우 빠르게 이동하고 펌프의 내벽이 도달하여 수냉과의 냉각으로 응축되어 유화되며 아래로 흘러내려서 보일러에서 다시 가열됨으로써 계속 순환된다. 이처럼 동작하는 오일 확산 펌프를 장착한 진공 시스템의 동작 순서에 대해 상세히 알아보면 다음과 같다. 1. 진공 시스템의 모든 밸브를 닫은 상태에서 러핑 펌프를 동작시키고, 러핑 라인의 밸브만을 열어 배기 소음이 안정화될 때까지 작동하도록 하며 고진공 펌프가 수십 torr에 도달까지 내린다. 간혹 러핑 펌프로 진공도를 더 많이 내리려는 시도는 오.. 2022. 9. 22. 이전 1 ··· 11 12 13 14 15 16 17 18 다음
