베이크아웃1 진공시스템에서의 세척 방법 10.3.1 각종 소재의 세척 진공 시스템에서 사용하는 소재의 종류에 따라 세척 방법은 다르며, 또한 진공 업체나 각 연구실마다 세척하는 방식이 조금씩 다르다. 이제, 진공 시스템에 서 다루는 주요 소재에 대한 기본적인 세척 방식에 대해 기술하도록 한다. (1) 스테인리스강 1. TCE(trichloroethane)에 넣고 초음파 세척기로 기름을 제거한다. 2. 알칼리성 세척제(pH=11)에 담근 후, 공기로 건조한다. 3. 수돗물로 15초간 담근다. 4. 증류수에 담근 후, 공기로 건조한다. 5. 뜨거운 oven에 넣어 건조한다. 6. 진공에서 950°C로 2시간 베이크 한다. 7. 글로우 방전이나 반응성 가스로 세척한다. (2) 알루미늄 및 합금 1. 육안에 보이는 오염물질을 제거한다. 2. 120°.. 2022. 10. 15. 이전 1 다음
