분류 전체보기134 러핑 펌프의 종류에 대해서 4.3 드라이 펌프 최근 국가산업 경쟁력의 핵심으로 떠오르고 있는 차세대 동력산업인 첨단의 평판 디스플레이 산업이나 반도체 산업에 있어 진공 장치의 오염은 제조공정에 서 반드시 제거하여야 하는 필수 요건이라 할 수 있다. 드라이 펌프(dry pump;일명 건식 펌프)는 펌프에 오일을 사용하지 않기 때문에 진공 시스템의 청결도를 유지할 수 있다는 장점으로 주목을 받고 있다. 이미 앞 절에서 기술하였듯이, 오일에 의한 역류는 진공 용기의 오염이나 고장에 가장 큰 원인을 제공하기도 한다. 따라서 진공의 청정을 해야 하는 공정에서 드라이 펌프를 사용하게 되면, 제조공정의 신뢰성 및 안전성이 증가하고, 운영의 경비를 절감할 수 있으며, 또한 폐기물 처리비용을 절감할 수 있다. 드라이 펌프의 종류로는 screw 펌.. 2022. 9. 20. 러핑 펌프 러핑 펌프 일반적으로 대기압에서부터 $10^{-3}$ torr 정도까지의 저진공 및 중진공 영역에서 사용하는 펌프를 러핑 펌프(roughing pump)라고 하며, 주로 초기 진공을 생성하기 위해 사용된다. 원래 "rough"의 사전적인 의미는 "거칠거나 부드럽지 못한" 것을 나타낸다. 이는 초기에 대기압 상태인 진공 용기를 펌프로 기체분자를 배기하기 시작하면 순간적으로 일어나는 불규칙한 흐름으로 인해 심한 소음과 진동을 만들게 되며, 이내 서서히 조용해지며 점성 유동하게 된다. 이와 같이 진공 시스템을 구동하기 시작하면, 처음에 발생하는 거친 소음이나 진동을 일으키는 초기 진공 단계 동안에 거칠게 동작하는 펌프이기 때문에 붙여진 명칭일 것으로 여겨진다. 러핑 펌프는 초기에 배기하는 펌프의 역할을 완료하.. 2022. 9. 19. 블로그에 수식(수학기호) 작성하는 방법 블로그에 수식(수학기호)을 작성하는 방법에 대해 포스팅하겠습니다. 분수를 입력하거나, 복잡한 수식을 아래 방법대로 따라 하시면 웹사이트에서 수식(수학기호)을 작성하는데 어려움 없이 작성하실 수 있습니다. 블로그 HTML 편집기 실행 HTML 주석 복사/붙여넣기 수식 편집기 사이트에서 수식 긁어오기 블로그에 적용 및 미리보기 확인 1. 블로그 HTML 편집기 실행 방법 - 좌측 탭 ▶꾸미기 ▶스킨 편집 클릭 ▶ 화면 전환 후 ▶ 우측 'html 편집' 클릭 2. HTML 주석 복사/붙여넣기 방법 - HTML 주석 창 ▶ 하단의 HTML 주석을 복사 와 사이에 붙여넣기 #주석을 복사하세요 ! 1 2 3 4 5 MathJax.Hub.Config({ tex2jax: {inlineMath: [['$','$'], .. 2022. 9. 18. 진공 펌프의 성능(2) 3.1.2 배기 시간 고진공 시스템에서 배기속도와 최저도달압력은 진공용기로부터 방출되는 수증기를 포함한 표면 탈착을 비롯하여 다양한 가스방출원에 의해 제한된다. 배기 시간(pumping time)은 진공용기의 체적, 펌프의 용량, 내부 표면적뿐만 아니라 표면 청결도에 의해 의존하게 된다. 진공용기를 펌프에 의해 배기하면 두 단계로 구분할 수 있으며, 공간 배기와 표면 배기로 나눈다. 공간 배기는 주로 진공 펌프를 구동하기 시작한 초기의 배기로서 용기 안의 공간에 존재하는 기체분자를 뽑아내는 것이고, 표면 배기는 용기 내벽으로부터 방출하는 가스를 배기하는 것이다. 이미 용기 벽을 통하여 일어날 수 있는 여러 가지 가스방출원에 대해 기술하였다. 먼저, 공간 배기를 고려하면 온도가 일정할 경우, 진공용기 내에.. 2022. 9. 17. 이전 1 ··· 28 29 30 31 32 33 34 다음
