확산펌프고장시대처법1 확산 펌프의 사용법 및 고장진단 5.1.5 확산 펌프의 사용법 및 고장진단 이미 기술하였듯이, 확산 펌프는 펌프 오일이 끊는 점까지 가열하여 증발관을 따라 이동한 후, 제트장치의 노즐을 통해 아래 방향으로 분사되며, 이때 증기 분자들은 초음속의 속도로 매우 빠르게 이동하고 펌프의 내벽이 도달하여 수냉과의 냉각으로 응축되어 유화되며 아래로 흘러내려서 보일러에서 다시 가열됨으로써 계속 순환된다. 이처럼 동작하는 오일 확산 펌프를 장착한 진공 시스템의 동작 순서에 대해 상세히 알아보면 다음과 같다. 1. 진공 시스템의 모든 밸브를 닫은 상태에서 러핑 펌프를 동작시키고, 러핑 라인의 밸브만을 열어 배기 소음이 안정화될 때까지 작동하도록 하며 고진공 펌프가 수십 torr에 도달까지 내린다. 간혹 러핑 펌프로 진공도를 더 많이 내리려는 시도는 오.. 2022. 9. 22. 이전 1 다음
